Kazushi Tahara ist seit Juni 2025 Chairman von Tokyo Electron Limited. Zuvor war er von April 2013 bis Juli 2018 Vice President und General Manager des Unternehmens sowie von 2006 bis 2013 Representative Director, Vice President und President bei Tokyo Electron Software Technologies Ltd. Von Juli 2018 bis Juni 2019 fungierte er als Corporate Consultant bei Tokyo Electron Ltd.